Theвідкритий лінійний масштаброзроблений для верстатів та систем, що потребують високоточних вимірювань, та усуває похибку та зворотну похибку, спричинені температурними характеристиками та характеристиками руху кульового гвинта.
Застосовувані галузі:
Вимірювальне та виробниче обладнання для напівпровідникової промисловості
Машина для складання друкованих плат
Прецизійний верстат
Високоточний верстат
Вимірювальні машини та компаратори, вимірювальні мікроскопи та іншепрецизійне вимірювальне обладнання
Застосування та впровадження серійних продуктів:
Лінійна зчитувальна головка серії LS40 адаптована до надтонкої шкали з нержавіючої сталі серії M4 з кроком ґратки 40 мкм. Застосування однопольового сканування та обробки поділу з низькою затримкою забезпечує їй чудові динамічні характеристики.
Лінійна ґратчаста шкала серії RU — це інкрементальна ґратчаста шкала 20 мкм, призначена для забезпечення зворотного зв'язку для високоточних лінійних вимірювань. Вона використовує вдосконалену технологію маркування інтерференційних ґратчастих ліній, а похибка ґратчастої лінії контролюється нижче 40 нм. Вона виготовлена з високоміцних, стійких до корозії спеціальних матеріалів. Нержавіюча сталь забезпечує тривале та стабільне використання.
Інкрементальні зчитувальні головки серії RX оснащені вдосконаленим оптичним датчиком нульового положення RH Optics. Вони використовують найсучаснішу технологію сканування нульової точки в одному полі, вдосконалену технологію автоматичного підсилення та автоматичної корекції відхилення від Handing Optical. Вони мають низьку похибку електронного поділу, високі показники захисту від забруднення та сумісні з лінійними та кільцевими решітками.
Механічна структура:
Відкрита лінійна шкалавключає сталеву стрічкову шкалу та зчитувальну головку, які є безконтактними. Сталева стрічкова решітчаста шкала відкритої лінійної решітчастої шкали безпосередньо закріплена на монтажній поверхні, тому площинність монтажної поверхні впливатиме на точність лінійної решітчастої шкали.
Час публікації: 16 лютого 2023 р.