Theекспонований лінійний масштабпризначений для верстатів і систем, які потребують високоточних вимірювань, і він усуває похибку та зворотну похибку, викликану температурними характеристиками та характеристиками руху кулькового гвинта.
Застосовні галузі:
Вимірювальне та виробниче обладнання для напівпровідникової промисловості
Машина для зборки друкованих плат
Прецизійний верстат
Високоточний верстат
Вимірювальні машини та компаратори, вимірювальні мікроскопи та інпрецизійне вимірювальне обладнання
Застосування та впровадження серійних продуктів:
Зчитувальна головка з лінійною решіткою серії LS40 адаптована до ультратонких шкал серії M4 з нержавіючої сталі з кроком решітки 40 мкм.Застосування сканування в одному полі та обробки підрозділів із низькою затримкою забезпечують чудову динамічну продуктивність.
Шкала лінійної решітки серії RU — це інкрементна шкала решітки 20 мкм, розроблена для забезпечення зворотного зв’язку для високоточних лінійних вимірювань.Він застосовує вдосконалену технологію маркування лінії решітки, а похибка лінії решітки контролюється нижче 40 нм.Використовуються високоміцні, стійкі до корозії спеціальні матеріали.Матеріал з нержавіючої сталі забезпечує тривале і стабільне використання.
Інкрементні зчитувальні головки серії RX оснащені вдосконаленим оптичним датчиком нульового положення RH Optics.Він застосовує найдосконалішу технологію однополевого сканування нульової точки, передову технологію автоматичного підсилення та автоматичної корекції відхилень Handing Optical.Він має низьку похибку електронного поділу, високі показники захисту від забруднення та сумісний із лінійними та кільцевими ґратками.
Механічна структура:
Відкритий лінійний масштабмістить сталеву стрічкову шкалу та зчитувальну головку, які є безконтактними.Шкала сталевої стрічки відкритої лінійної гратчастої шкали безпосередньо закріплена на монтажній поверхні, тому площинність монтажної поверхні впливатиме на точність шкали лінійної гратки.
Час публікації: 16 лютого 2023 р
